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2.5纳米
全球分辨率最高钨灯丝扫描电镜在合肥诞生
  本报讯11月24日,记者从合肥市高新区获悉,基于我国制造业转型升级的长期发展战略,辖区企业国仪量子推出了全球首台分辨率达到2.5纳米的钨灯丝扫描电子显微镜,突破了这一技术长期以来的技术瓶颈。
  作为一种应用广泛的高端科学仪器,扫描电镜长期以来被进口品牌垄断,国产扫描电镜在技术与产品性能上与国外品牌存在差距。钨灯丝扫描电镜具有性价比高、易于维护、操作相对简单以及对场地要求较小等特点,便于大众化使用。长期以来,钨灯丝扫描电镜的分辨率停滞不前,难以实现用户对更高分辨率的追求。国仪量子电子显微镜技术团队针对这一技术瓶颈开展了科研攻关,通过分析限制钨灯丝扫描电镜分辨率的主要因素,开创了在镜筒内增加一根从阳极直达物镜极靴的10千伏高压管(高压隧道技术)的解决方案,并实现了在所有电压段的分辨率均大幅度超越普通钨灯丝电镜。
  据介绍,SEM3300在20千伏分辨率达到2.5纳米,比普通钨灯丝电镜提高了16%,成为目前世界上分辨率最高的钨灯丝扫描电镜。同时,作为钨灯丝电镜“王者”,SEM3300在任意电压下都表现出卓尔不群的分辨力——在3千伏分辨率达到4纳米,相比普通钨灯丝电镜提高2倍;在1千伏分辨率达到5纳米,相比普通钨灯丝电镜提高3倍,从而满足更多材料的分析测试需求。
  新安晚报安徽网大皖新闻记者项磊